洁净实验室平面设计规划布局按照洁净区、准洁净区和辅助区三个区域的位置不同进行划分规划，可分为外廊环绕式、内廊式、两端式、核心式。

外廊环绕式的外廊可以有窗和无窗，兼作参观和放置一些设备用，有的在外廊内设值班采暖。外窗必须是双层密封窗。

内廊式：洁净室设在外围，而走廊设在内部，这种走廊的洁净度级别一般都较高，甚至和洁净室同级。

两端式：洁净区设在一边，另一边设准洁净和辅助用房。

核心式：为了节约用地、缩短管线，可以洁净区为核心，上下左右被各种辅助用房和隐蔽管道的空间包围起来，这种方式避开室外气候对洁净区的影响，减少了冷热能耗，利于节能。

洁净实验室的各种管道布局非常复杂，一般洁净实验室通风管道线路设计规划布局都采用隐蔽组织方式，技术阶层或者技术夹道。

技术夹层分为顶部技术夹层与房间技术夹层。顶部技术夹层送、回风管的断面大，一般将其安排在夹层的*上方，其下安排电气管线，地板承重相对较强时，可在上面设置过滤器及排风设备等。房间技术夹层与顶部相比，可减少夹层的布线与高度，下夹道内还可设回风机动力设备配电等，某层洁净室的上夹道可以兼做上一层的下夹道。

技术夹道的设计布局，一般都为竖向直线，还可以放置不宜在洁净室内的一些辅助设备，甚至还可以作为一般回风管道或静压箱，有的可安设光管型散热器。这类技术夹道(墙)由于大多采用轻质隔断，所以当工艺调整时，可方便地进行调整。