半导体无尘车间的标准

半导体无尘车间是指通过高效过滤、低温、恒温控制、高压等环境控制技术，将半导体制造设备和产品放置在一个极低污染的空气环境中的车间。 它的主要作用是防止空气中的微小颗粒、气体、湿度等污染物和微生物污染，以确保半导体材料、工艺和产品的质量。

半导体无尘车间的空气清洁度标准一般是采用ISO14644-1标准，清洁度级别从Class1到Class9，Class1表示*清洁的环境，Class9表示*污染的环境。 根据不同的要求，可以采用不同的清洁度级别。

除了空气清洁度标准外，半导体无尘车间还有一些特殊的安全要求。 例如，空气的湿度必须保持在一定的范围，控制在30-60%RH之间； 温度必须保持在一定的范围，控制在18-25度之间； 每小时流量要求必须大于20m/h。 此外，半导体无尘车间还要求噪声小，灯光满足要求，防静电措施到位，防尘措施要达到*低要求等。

总而言之，半导体无尘车间的标准主要是空气清洁度标准、湿度、温度、流量等，以及噪声、灯光、防静电、防尘措施等。 以上标准都是半导体无尘车间必须达到的标准，以确保半导体制造设备和产品的清洁度、可靠性和质量。